特點
1. 質量流量計技術特點：新一代微機電（MEMS）技術，自適應信號處理技術，數值仿真技術設計。具有精度高、穩定性好、量程比寬、抗干擾、壓損小。
2. 主要功能：流量數據采集/處理、記錄/顯示，滿足就地、遠程監測需求。 安裝方便，維護簡單。
3. 適用范圍：氧氣O2 / 氮氣N2 / 氬氣Ar / 天然氣LNG 。通徑DN3-DN20，壓力0-2.5Mpa，溫度 -20-80°C
4. 應用場合：醫療、制藥、半導體生產工藝過程如擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、以及真空鍍膜、光纖熔煉等；實驗室微反應裝置, 混氣配氣系統, 毛細管測量氣相色譜儀, 光纖制造工藝；石油化工、冶金、焊接等過程控制。
MEMS0600系列微機電質量流量計 (MEMS Mass Flow Meter) 由傳感器、本體、信號處理模塊組成。
傳感器是用CMOS半導體工藝制成微機電系統 (MEMS)。傳感器根據熱擴散原理設計, 芯片中央設加熱器, 加熱器的上下游分別配置熱電堆, 熱電堆附設基座測溫體。加熱器和熱電堆的底部設有空腔, 可高效檢測加熱器的熱量以及附近溫度場的變化。加熱元件導入恒定電流后, 其附近區域形成溫度場。介質無流動時，上下游熱電堆的溫差為零，介質流動時，上下游溫差發生變化，且溫差數值與質量流量大小呈正相關關系，通過測量溫差可反算出流體質量流量。傳感器采用熱擴散原理直接測量質量流量, 所以基本無需進行壓力、溫度補償，而且熱擴散原理應用縮小至毫米微米尺度, 因此該傳感器具有精度高、量程寬、靈敏度高的特點。
流量計本體由主流道、測量流道、導向結構、過濾結構組成。經過理論計算、大量的數值仿真、實驗室實驗和現場實氣測試驗證完成設計。流道設計滿足經濟、高效、穩定、準確的測量目標。流道壓損小、氣流穩定、線性范圍寬。
信號處理模塊采用性能優良、可靠性高的DSP進行設計。集成數字化自適應信號處理技術, 可有效抑制隨機誤差。模塊具有響應快、精度高、穩定性好的特點。提供便利的計量就地顯示，根據需要可提供RS485，4-20mA，NBIOT等數字和模擬信號輸出與數據遠傳。
基本功能：
瞬時流量顯示 (可靈活設置流量單位), 累積總量顯示(可靈活設置流量單位), 溫度, 流量計狀態監測, 傳感器狀態監測,用戶根據使用習慣可靈活設置顯示界面, 靈活選擇介質 (空氣、氧氣、氮氣、氬氣等氣體)。
高級功能：
可選配NB-IOT物聯模塊實現數據遠傳功能。實時記錄瞬時流量、總量、支持U盤存取。記錄瞬時流量的趨勢曲線、統計量。
注：
流量讀取基本功能可在質量流量計實現，高級功能需選配外接觸摸屏監測器實現。
測量參數
| 介質壓力(x 0.1MPa) | 02, 03, 04, 06, 08, 10 |
| 介質溫度 | -40~85°C, 可定制-40~200°C |
| 流量范圍 | 0.005SLPM ~ 250SLPM |
| 量程比 | 1:100 |
| 響應時間 | < 50 ms |
| 精度 | ±1.5% F.S. |
| 重復性 | < 0.25% F.S. |
| 靈敏度 | < 0.1% F.S. |
電氣參數
| 流量計功耗 | < 0.3Watt |
| 電源 | 24VDC |
| 通訊 | RS485 |
機械參數
| 連接 | 1/8”, 3/8”, 1/2”, 3/4”卡套 |
| 安裝 | 面板安裝, 導軌安裝 |
| 尺寸 | 102x147x30 |
| 重量 | 1.0Kg |
| 防護等級 | IP54 |
材質
| 測量管 | 不銹鋼 |
| 殼體 | 不銹鋼 |
| 密封 | 丁腈、乙烯、丙烯、全氟橡膠、氯丁橡膠、氟化橡膠 |
| 連接 | 不銹鋼 |
MEMS06Axx-Bxx-Cxx-Dxx-Exx-Fxx-Gxx-Hxx
A 通徑 (mm)：DN03, 06, 08, 10, 15，20
B 適用介質：A空氣, N氮氣, O氧氣, R氬氣, C二氧化碳, xx訂制
C 最大流量 (SLPM) ：05, 10, 30, 100, 300,800
D壓力(x 0.1MPa)： 02, 04, 06. 08, 10
E輸出通訊：01 數字量RS485, 02模擬量4~20mA, 03 NB-IOT
F本體材質：01鋁合金, 02銅合金, 03 不銹鋼SUS304, 04 不銹鋼SUS316, 05 鈦合金
G 連接：內螺紋NPT尺寸(1/8”, 3/8”, 1/2”, 3/4”)
H 安裝方式：01 一體式安裝, 02 分體式導軌安裝, 03 分體式面板嵌入安裝
選型實例：
MEMS0615-N-200-04-01-01-3/4-03
微納熱式智能質量流量計0600系列, A通徑DN15, B介質為氮氣, C最大流量200SLPM, D壓力0.4MPa, E 數字量輸出RS485, F本體材料為鋁合金, G連接方式為標準NPT 3/4英寸內牙, H安裝方式為面板嵌入式安裝。
|
型號 |
管路連接螺紋尺寸 |
通徑 (mm) |
長度(mm) |
寬度(mm) |
高度(mm) |
流量范圍(SLM) |
|
MEMS0620T |
Female G3/4"內螺紋 |
20 |
88 |
38 |
116 |
20~1000 |
|
MEMS0615T |
Female G1/2"內螺紋 |
15 |
88 |
38 |
116 |
6~300 |
|
MEMS0610T |
Female G3/8"內螺紋 |
10 |
88 |
38 |
101 |
2~100 |
|
MEMS0610T |
Female NPT 3/8"內螺紋 |
10 |
88 |
38 |
101 |
2~100 |
|
MEMS0610T |
Male LOK 3/8" 雙卡套外螺紋 |
10 |
124 |
38 |
101 |
2~100 |
|
MEMS0606T |
Female NPT1/4"內螺紋 |
6 |
88 |
38 |
101 |
1~50 |
|
MEMS0606T |
Male LOK 1/4" 雙卡套外螺紋 |
6 |
124 |
38 |
101 |
1~50 |
|
MEMS0603T |
Female NPT1/8"內螺紋 |
3 |
88 |
38 |
101 |
0.04~2 |
|
MEMS0603T |
Male LOK 1/8" 雙卡套外螺紋 |
3 |
124 |
38 |
101 |
0.04~2 |
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